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      铂悦仪器(上海)有限公司

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      晶圆厚度测量系统

      更新时间:2020-08-12

      产品品牌:Frontier Semiconductor

      产品产地:美国

      产品型号:FSM 413 EC

      产品描述:FSM413回波探头传感器使用红外(IR)干涉测量技术。

      非接触式厚度测量,可以测量背面研磨减薄和刻蚀后的薄晶圆,也可测量粘附在蓝膜或者其他载体上的有图形或凸起的晶圆,可应用于堆叠芯片和微机电系统。

      优势:
             FSM413回波探头传感器使用红外(IR)干涉测量技术,可以直接和测量从厚到薄的晶圆衬底厚度变化和总体厚度变化。配置单探头系统,可以测量一些对红外线透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英和一些聚合物,还可以测量常规有图形、有胶带、凸起或者键合在载体上晶圆的衬底厚度。配置双探头系统时,还提供晶圆整体厚度测量(包括衬底厚度和在光不能穿透的情况下的图形高度厚度)。选配功能可以测量沟槽深度和通孔深度(包括微机电中的高深宽比的沟槽和通孔)。另外微机电应用中薄膜厚度测量和凸块高度测量也可以选配。

      基于FSM Echoprobe红外线干涉测量技术,提供非接触式芯片厚度和深度测量方法。

      Echoprobe技术利用红外光束探测晶圆。 
      Echoprobe可用于测量多晶硅、蓝宝石、其它复合物半导体,例如GaAs, InP, GaP, GaN    等。 
      对晶圆图形衬底切割面进行直接测量。

       

      行业应用:

      主要应用在研磨芯片厚度控制、芯片后段封装、TSV(硅通孔技术)、(MEMS)微机电系统、 侧壁角度测量等。
      针对LED行业, 可用作检测蓝宝石或碳化硅片厚度及TTV 

      其它应用:
      ·  沟槽深度测量
      ·  表面粗糙度测量
      ·  薄膜厚度测量
      ·  环氧厚度测量

      Echoprobe™ 回波探头技术可提供对薄晶圆(<100um)的衬底厚度或粘结结构上的薄衬底进行直接和测量。

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